Ознайомлення з принципом роботи та характеристиками кріонасосів

Jul 06, 2022 Залишити повідомлення

Кріонасоси також широко використовуються в сучасному житті. Багато людей, можливо, не чули про кріонасоси. Кріонасоси — це різновид вакуумних насосів, які використовують низькотемпературний поверхневий конденсаційний газ. Перевагою є те, що потужність накачування найбільша. Сьогодні давайте подивимося на кріогенні насоси. Як працює насос.


Принцип роботи кріонасоса полягає у використанні газу для фізичної адсорбції на поверхні з наднизькою температурою для досягнення ефекту виснаження. Це ефективний і швидкий спосіб отримати чистий вакуум.


Кріонасос може досягати надзвичайно високого вакууму (10-11Па) і має такі переваги, як висока швидкість випуску, відсутність масла та необмежений напрямок встановлення.


На холодному етапі першого ступеня кріонасоса встановлюють екрануючу кришку та перегородку, а температуру підтримують на рівні 80 К. Ступінь вторинного охолодження підтримували при 15 К, на неї встановлювали кріогенну кришку та адсорбент з активованого вугілля.


Водяна пара твердне на екрані 80K і перегородці 80K; азот, кисень і аргон твердіють на кріогенному покритті 15K; водень, гелій і неон адсорбуються на адсорбенті всередині кріогенного покриття 15K. Кріонасос може випускати всі гази, але якщо кількість адсорбованого газу занадто велика, швидкість вихлопу буде знижена. У цьому випадку необхідно нагріти кріонасос, випустити адсорбований газ і використовувати його знову.


Особливості кріонасоса


Кріонасос — це вакуумний насос, який використовує поверхню з низькою температурою для конденсації газу, також відомий як конденсатний насос. Кріонасос може отримати чистий вакуум із найвищою швидкістю накачування та найнижчим кінцевим тиском і широко використовується в дослідженнях і виробництві напівпровідників та інтегральних схем, а також у дослідженнях молекулярних променів, обладнання для вакуумного покриття, приладів для вакуумного аналізу поверхні, іонів імплантатори та пристрої моделювання космічного простору тощо.


Кріонасос — це вакуумний насос, який використовує ефект конденсації поверхні охолодження з дуже низькою температурою (менше або дорівнює 77 К) для видалення газу із системи. З 1960-х років кріогенна накачування все ширше використовується для отримання та застосування вакууму.


Кріонасос - це чистий вакуумний насос. Оскільки кріогенне середовище є лише холодоагентом, який охолоджує всмоктувальну поверхню насоса та зберігається або циркулює в закритому контейнері, воно не має жодного контакту з вакуумним простором. Ця функція має вирішальне значення для певних вакуумних систем, які вимагають чистих вакуумних систем без масла.


Кріонасоси можуть досягати дуже низьких парціальних тисків і дуже високих швидкостей перекачування для більшості газів. Коли кріонасос працює в рідкому гелієвому середовищі, він також має переваги великої фактичної потужності накачування та невибіркового накачування (за винятком гелію).


Кріонасоси відіграють важливу роль у дослідженні та виробництві напівпровідників та інтегральних схем, дослідженнях молекулярного пучка та в інших галузях. Це чистий вакуумний насос. Вище все про принцип роботи кріонасосів.