За способом подачі середовища кріопумпи поділяються на наступні види:
Резервуар для зберігання кріогенного насоса: низькотемпературне середовище (рідкий гелій) безпосередньо вводиться в резервуар для зберігання в насосі для конденсації газу для досягнення мети прокачування.
Переваги кріопумпу резервуара для зберігання полягають в тому, що насос невеликий за розміром, без вібрації, без шуму і простий в експлуатації.
Недоліком кріогенного насоса резервуара для зберігання є те, що експлуатаційна вартість висока, час використання кожної начинки низькотемпературного середовища короткий, а вакуумна система, яка повинна працювати безперервно протягом тривалого часу, повинна періодично поповнюватися робочим середовищем, і обмежена умовами подачі низькотемпературного середовища.
Тріопумп: Кріопанельна охолоджуюча труба в насосі підключається до холодильного розширювача, а кріогенне середовище (газовий гелій) подається в кріопумп через зовнішній трубопровід, поглинає тепло кріопанелі, а потім повертається в холодильний компресор, утворюючи замкнутий цикл. Обсяг насоса величезний, трубопровід ускладнений, а втрата охолодження трубопроводу велика.
Перевага процесу кріопумпу в тому, що він має велику охолоджуючу потужність і найбільш підходить для видалення атмосферного об'єму або великої вакуумної камери.
Невеликий кріопумп холодильника: Невеликий холодильник замкнутого циклу кріопумп складається з низькотемпературного корпусу насоса, кріопанелі для екстракції повітря, радіаційної захисної пластини, холодильника та компресора.
Найбільша відмінність кріогенного насоса невеликого холодильника і кріогенного насоса процесу полягає в тому, що перша і друга холодні головки холодильника безпосередньо з'єднані з радіаційним екраном і холодною пластиною, а потік в з'єднувальному трубопроводі між холодильником і компресором - нормальна температура, висока (або низька) температура. ) газового середовища під тиском, немає транспортної проблеми низькотемпературного середовища, і він має переваги технологічного кріопумпу і кріопумпумпу резервуара для зберігання. В даний час це ідеальний чистий надвисокий вакуумний насос.
Невеликі кріопуми холодильника широко використовуються в підготовці тонкої плівки, технології мікроелектроніки, фізиці високих енергій, невеликому кільцевому штамповому обладнанні та інших промислових областях.