Кріонасос - це вакуумний насос, який використовує низькотемпературну поверхню для конденсації газу, також відомий як конденсатний насос. Кріонасос може отримати чистий вакуум з найвищою швидкістю відкачування та найнижчим граничним тиском, і широко використовується в дослідженнях та виробництві напівпровідників та інтегральних схем, а також у дослідженні молекулярних пучків, обладнання для вакуумного нанесення покриттів, інструментів для вакуумного аналізу поверхні, іонів. імплантатів і космічного моделювання. пристрої та ін.
Принцип відкачування Кріонасос оснащений холодною пластиною, охолодженою до дуже низької температури рідким гелієм або холодильником. Він конденсує газ і підтримує тиск пари конденсату нижче граничного тиску насоса, щоб досягти ефекту відкачування. Основними функціями низькотемпературної перекачування є низькотемпературна конденсація, низькотемпературна адсорбція та низькотемпературне захоплення.
кріонасос
① Низькотемпературна конденсація: молекули газу конденсуються на поверхні холодної пластини або на шарі конденсованого газу, і рівноважний тиск в основному дорівнює тиску пари конденсату. При перекачуванні водню температура холодної пластини нижча.
②Низькотемпературна адсорбція: молекули газу адсорбуються на поверхні адсорбенту, покритої холодною пластиною, товщиною в один молекулярний шар. Рівноважний тиск для адсорбції значно нижчий, ніж тиск пари при тій же температурі.
③Кріогенне захоплення: молекули газу, які не можуть бути сконденсовані при температурі екстракції, закопуються та адсорбуються зростаючим шаром газу, що конденсується.